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ARTICLES日本CKD半导体电动执行器滑块型ESD2 ESD2 系列是 CKD 专为半导体制造场景研发的步进电机驱动型直线执行器,采用带滚珠保持器的线性导轨与带润滑辅助装置的滚珠丝杠组合,实现高精度、高刚性与长期免维护特性。其核心设计聚焦以下维度
更新时间:2025-11-11
产品型号:ESD2-45E06
浏览量:317
日本CKD半导体电动执行器滑块型ERL2 ERL2 系列是 CKD 专为半导体制造场景研发的步进电机驱动型直线执行器,采用带滚珠保持器的线性导轨与带润滑辅助装置的滚珠丝杠组合,实现高精度、高刚性与长期免维护特性。其核心设计聚焦以下维度
更新时间:2025-11-11
产品型号:ERL2-45
浏览量:631
日本CKD半导体直驱马达高精密型(ABSODEX) ABSODEX 小型直驱马达(AX7000 系列)是 CKD 专为半导体制造场景研发的行业最小尺寸直驱解决方案,采用无齿轮直驱技术,消除传统传动链的间隙与磨损,实现177;10 秒重复定位精度与纳米级分辨率**。其核心优势包括: 小型化:外径 φ80mm、高度 47mm(1.2N・m 机型),重量仅 1.2kg。
更新时间:2025-11-11
产品型号:AX7000X
浏览量:641
日本CKD半导体通用型(ABSODEX)AX4000 ABSODEX 小型直驱马达(AX8000M 系列)是 CKD 专为半导体制造场景研发的行业最小尺寸直驱解决方案,采用无齿轮直驱技术,消除传统传动链的间隙与磨损,实现**&177;10 秒重复定位精度与纳米级分辨率**。其核心优势包括: 小型化:外径 φ80mm、高度 47mm(1.2N・m 机型),重量仅 1.2kg。
更新时间:2025-11-11
产品型号:AX4000G
浏览量:302
日本CKD半导体通用型(ABSODEX) ABSODEX 小型直驱马达(AX6000M 系列)是 CKD 专为半导体制造场景研发的行业最小尺寸直驱解决方案,采用无齿轮直驱技术,消除传统传动链的间隙与磨损,实现**±10 秒重复定位精度与纳米级分辨率**。其核心优势包括: 小型化:外径 φ80mm、高度 47mm(1.2N・m 机型),重量仅 1.2kg,可直接集成于晶圆检测探头。
更新时间:2025-11-11
产品型号:AX8000
浏览量:582
日本CKD半导体通用型直驱马达小型(ABSODEX) ABSODEX 小型直驱马达(AX6000M 系列)是 CKD 专为半导体制造场景研发的行业最小尺寸直驱解决方案,采用无齿轮直驱技术,消除传统传动链的间隙与磨损,实现**±10 秒重复定位精度与纳米级分辨率**。其核心优势包括: 小型化:外径 φ80mm、高度 47mm(1.2N・m 机型),重量仅 1.2kg,可直接集成于晶圆检测探头。
更新时间:2025-11-11
产品型号:AX6000M
浏览量:300
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